玻璃


355nm波長UV雷射光源搭配光學模組/元件設計,傳統上可對玻璃薄片或玻璃晶圓進行複數開孔/開溝或切割製程。

晶圓


運用355nm波長UV雷射光源,搭配光學模組/元件設計,可針對薄晶圓(例如Si,GaAs,GaN…)進行高速及降低邊緣熔渣切割/切片製程,或使用不同的繞孔方法,可對晶圓進行高深寛比鑽孔/開溝製程。 此外,引用超快雷射光源,例如皮秒雷射或飛秒雷射,搭配原有的光路設計能達到更高品質的需求。

陶瓷


氮化鋁、氧化鋁陶瓷基板的切割、畫線或鑽孔。

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